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LiTFSi及TFSI離子液體用于抗靜電電子晶圓保護(hù)膜

一種環(huán)保型抗靜電電子晶圓保護(hù)膜，包括聚氨酯薄膜和膠水層；所述膠水層的原料包括丙烯酸壓敏膠，離子復(fù)配液體；所述離子復(fù)配液體包含含咪唑官能團(tuán)的離子液體和LiTFS...